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电子行业
干冰清洗电路板具有无残留物、不会导致机械损伤、环保可持续等优势
电子行业
电子行业
优点
干冰清洗是一种无损清洁方法,可以在工作温度下安全地在线清洗芯片
提高产品质量
满足严格的行业要求6-Sigma,
Kaizen,5S,TPM(全面生产婎护)
在线清洗
几乎无需拆卸
减少生产停机时间
清洗速度更快,无需冷却或拆卸
无损清洁
模具无损坏
缩短清洗时间并降低人工成本
提高良品率
模具更洁净,从而提高了质量
无需繁琐的人工清洗
说明
芯片制造过程中会在芯片表面出现4大污染问题:颗粒、有机残留物、无机残留物和需要去除的氧化层。如果清洗的精度不够,残留的杂质将会导致芯片电学失效,在芯片的生产中,80%的电学失效都是由沾污带来的缺陷所引起,所以半导体清洗工艺对芯片的良率至关重要,也是清洗设备企业立足的根本,竟争优势的所在。
由于清洗工艺过程不仅要剥离晶圆表面的光刻胶,同时还必须去除复杂的蚀刻残余物质、金属碎屑颗粒以及其它污染物等,因此,需要更新、更精细甚至更有利于环保的清洗方式。
利用干冰颗粒对半导体芯片表面的毛刺、颗粒物等杂质进行破碎,使半导体表面达到高洁净度的要求。解决了半导体功率芯片表面颗粒、表面污染物清洗不彻底,进行高压测试时,会造成电压击穿或尖端放电等问题。